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        otsukael分光橢偏儀 旋轉分析器 膜厚計 紫外光譜儀

        otsukael分光橢偏儀 旋轉分析器 膜厚計FE-5000/5000S的介紹

        除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

        • 產品型號:FE-5000/5000S
        • 廠商性質:經銷商
        • 更新時間:2023-04-14
        • 訪  問  量:1261
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        otsukael分光橢偏儀 旋轉分析器 膜厚計FE-5000/5000S的介紹

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        除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。



        特征
        • 可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內測量橢圓參數

        • 能夠分析納米級多層薄膜的膜厚

        • 通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜

        • 支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析

        • 通過創建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性

         

        測量項目
        • 橢圓參數(tanψ,cosΔ)測量

        • 光學常數(n:折射率,k:消光系數)分析

        • 膜厚分析

         

        測量對象
        • 半導體ウェーハ
          ゲート酸化薄膜,窒化膜
          SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
          レジストの光學定數(波長分散)

        • 化合物半導體
          AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン

        • FPD
          配向膜

        • 各種新素材
          DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜

        • 光學薄膜
          TiO2,SiO2,反射防止膜

        • リソグラフィー分野
          g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価


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