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2023-10-17 產品中心/ products
ulvac-kiko真空泵 螺桿型干泵 泵 MS120A/MS600A通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。采用ULVAC獨設計的轉子軸，實現高性能的排粉。從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
產品型號：MS120A/MS600A廠商性質：經銷商更新時間：2023-04-11訪 問 量：859
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| 品牌 | 其他品牌 | 性能 | 耐腐蝕 |
|---|---|---|---|
| 材質 | 其他 | 驅動方式 | 其他 |
| 流量 | 01m3/h |
ulvac-kiko真空泵 螺桿型干泵 泵 MS120A/MS600A
ulvac-kiko真空泵 螺桿型干泵 泵 MS120A/MS600A
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統的LS系列的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。
特點
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC特設計的轉子軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排氣速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到達壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消費電力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | L/min | >4.0 | ||
| Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣處理量 *1*3 | kg/h | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 適用規格 | CE、cTUVus | |||
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