日本asahi-spectra檢測儀光學式膜厚計

波長范囲も充実

従來の機種はフィルター式の波長選択でしたが、新制品は當社で実績のある分光器を組み込み、任意の波長を選択できるようになりました。
膜厚変化の信號は電圧出力からパソコン対応のデジタル出力へ、制御機構はマニュアル操作からパソコンによるコマンド制御になっています。また膜厚計本體をI/Fによりパソコンと直結して制御できる様にしたことで、他のメーカーの様なコントローラーなどがなく、非常にコンパクトなシステムになっています。

特長

• 分光器搭載のコンパクトな設計

• 耐ノイズ性の向上により、信頼性の高い膜厚監視を実現(靜電気放電試験耐圧±5kV)

• PCからのコマンドにより自動制御可能

• コントローラーを受光器本體に內蔵したことにより、高いコストパフォーマンスを実現

• 制品仕様

• 型式	OMD-1000
  分光器タイプ	ツェルニーターナー型シングルモノクロ
  波長范囲	保證范囲：380～900nm 動作可能范囲：350～1100nm
  波長分解能	スリット0.5mm：4.2nm [546nm] スリット1.0mm：8.3nm [546nm]
  波長精度	±1.0nm
  最小波長送り	0.1nm
  外部制御	RS232C
  外部出力端子	DC0～2V (フルスケール時)
  サンプリング間隔	100ms以上
  靜電気放電試験耐圧	±5kV (実績8kV)
  光源	12V100W ハロゲンランプ
  光量安定性	±0.1%/h 以下
  入力電圧	AC100V 50/60Hz
  許容入力電圧	AC85～132V
  皮相電力	340VA以下