山田光學YAMADA高亮度鹵素燈YP-250I/YP-150I用途介紹

更新時間：2025-12-16

瀏覽次數：40

山田光學（YAMADA）推出的YP-250I和YP-150I高亮度鹵素燈光源裝置是專為半導體及精密制造行業設計的表面缺陷檢測設備。這兩款產品憑借其出色的光學性能和可靠性，已成為晶圓、液晶基板等精密材料表面質量控制的行業標準工具。一、核心用途：精密表面缺陷檢測YP系列鹵素燈的核心用途是為宏觀目視檢查提供高強度照明，幫助檢測人員發現硅晶片、玻璃基板等精密材料表面的微觀缺陷。這些缺陷包括：劃痕與異物顆粒：可檢測小于0.2μm的微小瑕疵拋光不均勻：識別CMP（化學機械拋光）工藝后的表面平整度問題霧度與滑移：發現液晶基板透光性缺陷及晶體滑移線該系列通過提供超過400,000勒克斯（Lx）的超高照度，使這些在普通照明下難以察覺的缺陷清晰可見。二、技術特點與優勢1. 超高亮度照明系統照度突破：在照射距離140mm（YP-150I）或220mm（YP-250I）處，照度可達400,000Lx以上高色溫：鹵素燈色溫約3400K，光線穩定銳利，還原真實缺陷形貌均勻照明：光學設計確保照明區域內照度不均性極小，避免漏檢誤判

2. 熱管理創新采用冷鏡技術將熱量影響降低至傳統鋁鏡的1/3，有效保護熱敏感樣品（如光刻膠涂層晶圓），同時提升檢測人員操作舒適度。3. 靈活的操作設計兩段式切換：一鍵快速切換高低照度模式，適應不同缺陷類型的觀察需求可選冷卻方式：YP-250I提供螺旋槳風扇式或管道風扇式兩種冷卻方案，可根據潔凈室環境要求靈活配置三、典型應用場景1. 半導體制造全流程質量控制晶圓表面缺陷檢測：在切割、封裝前進行最終目視檢查，確保成品率光刻工藝檢查：檢測曝光后圖案完整性及表面污染CMP后檢查：識別拋光液殘留、劃痕等常見缺陷研發實驗室：為新材料、新工藝開發提供高精度照明支持2. 液晶與顯示面板行業用于檢測液晶基板的表面劃痕、霧度不均、顆粒污染等問題，確保顯示效果。3. 精密光學元件檢測適用于玻璃透鏡、光學窗口等透明材料的表面質量評估

四、型號對比與選型建議

| 參數 | YP-150I | YP-250I |

| ---------- | ------------ | ----------- |

| **照明范圍** | φ30mm | φ60mm |

| **適用晶圓尺寸** | 6英寸及以下 | 8英寸及以下 |

| **典型應用** | 小尺寸樣品、局部精細檢測 | 大尺寸樣品、全表面掃描 |

| **冷卻方式** | 強制風冷 | 螺旋槳或管道風扇可選 |

| **重量** | 約1.85kg | 約2.7kg |

選型建議：YP-150I：適合實驗室研發、小批量6英寸晶圓檢測或對局部區域進行高倍率觀察的場景YP-250I：適合8英寸晶圓量產線、需要更大照明范圍的全表面快速檢測場景五、在精密制造業中的核心價值提升檢測效率：超高照度使缺陷識別速度提升3-5倍，減少人員疲勞降低漏檢率：可檢測0.2μm級缺陷，顯著改善質量控制水平兼容潔凈環境：管道風扇型可外接排風系統，避免氣流擾動潔凈室環境投資回報明確：通過提高產品良率，通常在3-6個月內即可收回設備投資結語山田光學YP-250I和YP-150I高亮度鹵素燈憑借其光學性能、人性化設計和可靠品質，已成為半導體、液晶等精密制造領域重要的檢測工具。隨著制程技術向更優良節點發展，對表面缺陷檢測的要求愈發嚴苛，YP系列通過持續的技術迭代，將繼續為微觀結構觀察和質量控制提供高質量的照明解決方案

返回列表