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        英國 Michell Pura 高純氣體露點變送器高純氣半導體制造等應用

        更新時間:2024-04-18      瀏覽次數:596

        英國 Michell Pura 高純氣體露點變送器高純氣半導體制造等應用

        露點變送器 - Michell Pura

        高純氣體露點變送器

        特點

        測量范圍低可達 -120°Cdp (1ppbV)

        穩定而可重復的測量

        模擬和數字輸出

        安裝簡單

        VCR 過程連接

        可選的顯示/報警單元

        設計緊湊

        快速響應

        可選危險區域認證

        校準更換服務


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        這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器,用來測量高純氣體中的微量水分含量。

        Pura使用和安裝簡單,可選兩線制、三線制和危險區域的型號,是一款完的全可自定義的產品,可以滿足各種特殊需求。

        規格

        傳感器

         

        傳感器類型

        密析爾先進的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器

        量程

        -120 - -40°Cdp (校準范圍 -100 - -40°C)

        精度

        ±1°C -40 ~ -60°Cdp
        ±2°C -60 ~ -100°Cdp
        ±4°C -100 ~ -120°Cdp (估計)

        工作壓力

        最小 10-7 Pa (10-9 torr)
        最大 24 MPa (240 barg)

        工作溫度

        -40 ~ +60°C

        流量速率

        1 ~ 5 Nl/min

        電氣

         

        電源

        標稱電壓 24 V DC, 10-28 V DC 最大電流 25 mA 2或3線制配置

        輸出

        PUR-TX-2W: 4 ~ 20mA 2線制
        PUR-TX-3W: 4~ 20mA 3線制
        PUR-AOL-SEN : 數字 (RS485)

        顯示電纜

        PUR-OL & PUR-IS-OL: 2m (標準) / 5 or 10m (可選)
        PUR-AOL: 2m (標準) / 5 or 10m (可選)

        機械l

         

        傳感器模塊

        高級版 OEM 版: 冷拔不銹鋼, 0.1 - 0.2 Ra µm 內部電拋光

        壓力連接

        高級版和 OEM 版: ¼" VCR 公頭連接
        Pura 傳感器: ½" VCR 公頭連接

        安裝配置

        高級和 OEM 版: 120mm 間距, 通過氣體端口密封
        管道要求零間隙
        2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 對角線 20 x 20mm 間隙
        Pura 傳感器: 適合 ½" VCR 接口

        外形尺寸

        高級版和 OEM 版: 120 x 35 x 150mm (w x d x h)
        Pura 傳感器: 132 x Ø35mm

        重量

        高級版和 OEM 版: 450g
        Pura 傳感器: 180g

        包裝

        Pura 高級版: 雙層包裝和 UHP 惰性氣體密封
        Pura OEM & Pura 傳感器: 單層包裝與 1000 gauge聚乙烯
        所有選項: 單獨裝運,有海綿和紙箱保護
        Pura傳感器表面有防護罩來防止運輸和裝卸時的損壞

        更換服務

        可用Pura 傳感器 (SEN) ½" VCR 連接

        顯示

        高級版在線顯示: PUR-AOL

        在線顯示: PUR-OL

        測量單位

        °F, °Cdp; ppmV 和 ppbV 用戶可選量程和分辨率

        由兩線制傳感器輸入定義的簡單顯示

        二次測量變量

        通過外部傳感器的壓力 0-30 MPa (300 variable barg)
        用戶可以完的全自定義任何行業標準傳感器
        自動補償 ppmV 和 ppbV

        PUR-TX-2W & PUR-IS-2W 沒有管線壓力校正輸入 ppmV

        電源

        通用 85 ~ 265 V AC; 95 ~ 370 V DC

        100~ 240 V AC (+10, -15%) 50/60 Hz

        防護等級

        IP54 (NEMA 12); IP66 (NEMA 4X) 僅適用于帶可選蓋的前面板

        IP65 前面板 (IP20 后面板)

        工作溫度

        0 ~ +50°C

        0 ~ +50°C

        繼電器

        2 個 10 A / 240 V c/o 用戶可完的全配置: 可適應所選設備的所有量程 + 傳感器故障報警功能

        報警 1 繼電器: 單級接觸, 額定 3 A @ 250 V AC
        報警 2 繼電器: 轉換觸點, 額定 5 A @ 250 V AC

        顯示分辨率

        5 位

        4 位

        輸出: 模擬

        4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴展量程

        0-20 或 4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴展量程

        輸出: 數字

        RS232: 提供雙通道通信 -用戶可完的全數字訪問和所有設置選項的可用性

        RS232: 提供雙通道通信 - 用戶可完的全數字訪問和所有設置選項的可用性

        選項

         

         

        電源

        18 ~ 36 V AC; 9 ~ 60 V DC

        24 V DC

        繼電器

        1 或 2 路 5 A 繼電器 (最多 4 路) n/o 類型用戶可完的全自定義: 可適應所有量程 + 全部設備可選 + 傳感器故障報警功能

        1 路繼電器可選 - 參考工廠

        輸出: 模擬

        0-10 V 用戶可完的全自定義和可擴展量程

        0 ~ 10 V 輸出 采用 500 Ω 并聯電阻

        輸出: 數字

        RS485

         

         

         

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