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        技術文章/ article
        
        
         您的位置：首頁  -  技術文章  -  SHASHINA KAGAKU日本寫真化學 緊湊型膜厚監控儀 
        
        
        
      
        
      
        
        	
        SHASHINA KAGAKU日本寫真化學 緊湊型膜厚監控儀
        
            
        更新時間：2023-12-08      瀏覽次數：569
        
            
        
            	 
        緊湊型膜厚監控儀是一種反射分光光度計，使用小型反射探頭，適用于從
        實驗室水平到生產過程中在線100%檢測的所有情況。它具有出色的可維
        護性，可用于過程設備和生產線管理。
        最多可同時測量9種類型的透明薄膜。
        它可用作各種多層薄膜工藝的在線或終點監控器。
        緊湊型探針可以安裝在加工工具內部的小空間中。還可以通過使用EMA理
        論來判斷混合層的混合比或多晶硅的結晶度。
        2023-12-08_142227.png
        緊湊型光纖探頭
        可以安裝在加工工具內部的小空間中
        膜厚測量0.1nm (3o) 的重復性好
        可測量多達9層的多層膜厚度
        使用旋涂機檢測終點的視頻
        可選擇光源
        光源
        白光LED
        鎢合金
        Deuterlum鹵素
        波長范圍(nm)
        430-700
        400-900
        220900
        無線 (選項)
        包含膜厚終點檢測軟件
        靶厚度范圍 (nm)典型使用壽命 (小時)
        50--50,000
        50--50,000
        10--30,000
        >50.000
        10,000
        1,000
        電影1:終端監視器的演示1
        電影2:終端監視器的演示2
        材料分析功能
        用EMA評價復合材料的混合比
        自動映射階段 (選件)
        結晶度與光學常數分析

        
            
        
         	
                                            
        
        
      
      
    
        
  
        

        

 



        
  
        
    
    
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