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更新時間：2023-05-05 
瀏覽次數：563快速穩定的控制
車載氣體轉換模型
嵌入了 22 種特的氣體
多參數輸出：質量流量、溫度和壓力
USB-C 和藍牙通信
FLEXI-FLOW 緊湊型質量流量/壓力控制器適用于在真空和 17 bar(a) 之間的工作壓力下精確測量和控制 0…500 ml n /min 和 0…20 l n /min 之間的流量范圍。該儀器將基于毛細管 MEMS 技術的快速穩定的熱質量流量傳感器與精確且經過驗證的旁路結構相結合。由于特的國際專，精確的質量流量測量得以建立，幾乎不受溫度和管線壓力變化的影響。結合集成溫度和上游和下游壓力傳感器，22 種氣體的嵌入式數據庫可實現精確的機載轉換。多參數儀器為用戶提供有用的過程信息。
FLEXI-FLOW 緊湊型質量流量/壓力控制器目前有 3 種型號可供選擇：
“高級預配置"(PA)，量程比 1:500，流量 + 溫度 + 上游和下游壓力，4 個流量范圍（FS，基于 N 2）：
FF-A500 型 - 500 ml n /min
FF-A2K0 型 - 2 l n /min
FF-A5K0 型 - 5 l n /min
FF-A20K 型 - 20 l n /min
“預配置標準"(PS)，量程比 1:50，流量 + 溫度，4 個流量范圍（FS，基于 N 2）：
FF-S500 型 - 500 ml n /min
FF-S2K0 型 - 2 l n /min
型FF-S5K0 - 5 升/分鐘
FF-S20K 型 - 20 升/分鐘
“按訂單制造"(BtO)，調節比 1:1000；在 0.5 和 20 l n /min（FS，基于 N 2）之間自由選擇范圍，
FF-C10 型：流量 + 溫度
FF-C11 型：流量 + 溫度 + 上游和下游壓力；
BtO 模型也可用于配置多達 8 個通道的多通道版本。
| 測量/控制系統 | |
|---|---|
| 流量范圍（可提供中間范圍） | 分鐘。 最大0…500 ml n /min 0…20 l n /min （以 N 2計） |
| 壓力范圍 | PA：0...17 bar(a) PS：不可用 BtO：FF-C10：不可用 / FF-C11：0...17 bar(a) |
| 精度（包括線性度）（基于實際校準） | PA：±0.8% Rd + ±0.2% FS (N 2 /Air/O 2 )； PS：±1.5% Rd + ±0.5% FS (N 2 /Air/O 2 ); BtO：高達 ±0.5% Rd 加上 ±0.1% FS (N 2 /Air/O 2 )； 對于其他氣體增加轉換不確定性；查看多氣體表； |
| 重復性 | 流量傳感器：< ±0.2% Rd； 壓力傳感器：< ±0,2% FS |
| 調節比 | PS：1:50 PA：1:500 BtO：高達 1:1000 |
| 最大限度。運營壓力 | 16巴克 |
| 多氣體/多范圍 | 以及這些氣體的任何混合物的嵌入式氣體數據 |
| 穩定時間（受控，典型） | < 150 毫秒 |
| 長期穩定性 | < 0.5% 滿量程 3 年；然后 < 0,2% FS 每年 |
| 控制穩定性 | < ± 0,1% FS（1 l n /min N 2 的典型值） |
| 工作溫度 | 0 … 50攝氏度 |
| 儲存/運輸條件 | -20 … +80 °C，最大值 95% RH（非冷凝） |
| 安裝 | 任意位置，姿態敏感度可忽略不計 |
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